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                壓電偏轉臺,高負載通孔型,XYRz方向

                簡要描述:Carrier.S100/200.xyRz.C,壓電偏轉臺,高負載通孔型,XYRz方向
                Carrier.S 系列,標準型

                • 產品型號:Carrier.Sxxx.xyRz.C
                • 廠商性質:生產廠家
                • 更新時間:2025-12-12
                • 訪  問  量:1808

                詳細介紹

                壓電載物臺·高負載通孔型 Carrier.S100.xyRz.C

                ? 高負載·高速XY平面運動,Z軸旋轉設計,保證XY面內準直運動

                 

                 

                兩維度 XY 掃描運動100 um, Z軸旋轉運動1 mrad

                閉環分辨率優于 1 nm

                最大負載 5 kg

                針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決方案

                ?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級

                 

                壓電偏轉臺,高負載通孔型,XYRz方向——詳細參數:

                 


                壓電偏轉臺,高負載通孔型,XYRz方向——尺寸圖

                壓電偏轉臺,高負載通孔型,XYRz方向

                 

                多場科技“壓電掃描臺·通孔型”解決方案包括Carrier.S 系列(標準型)和Carrier.SL 系列(輕量型)。Carrier.S & SL系列主要針對精密光學,半導體表征等應用場景,覆蓋載物臺“大行程·高精度·重負載”等需求,核心特點包括:

                運動方式覆蓋線性運動 & 俯仰運動

                X,Z,XY,XYZ & ZTT等運動形式全面支持

                線性運動行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

                • 支持電容(.C) 位置傳感

                • 最高分辨率達到0.2 nm

                超快運動響應 & 長時間疲勞測試

                • 支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

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